MKS真空计的检测原理是基于热导(Thermal Conductivity)的方法。
具体地,该原理是利用气体分子的热导性质与压力之间的关系,通过测量气体的热导系数来确定气体压力的大小。该原理的检测电路由两个热导电桥和一个比较放大器组成。其中一个热导电桥用于检测气体压力,另一个用于检测参考气体(一般为氧气)的压力。当气体进入检测器时,它会散布在两个热导电桥上,气体分子会在两个热导电桥中运动,其中一个热导电桥上的热电偶将受到热导体所传递的热量,而另一个热导电桥上的热电偶则不受到热量的传递。两个热导电桥的电压差会随气体压力的变化而变化。比较放大器会对两个热导电桥的电压差进行放大,并将其转化为输出信号,该输出信号与气体压力成正比关系。需要注意的是,这只是MKS真空计的一种常见检测电路原理,不同型号或不同品牌的MKS真空计可能会有所不同。