都可以到原子级别分辨率,扫描隧道显微镜主要看表面原子结构,电子显微镜中的透射电镜主要看晶体内部的原子结构。
两者各有所长,扫描电子显微镜主要由压电陶瓷控制针尖来探测表面隧穿电流,所以在垂直方向有所限制,对表面制样要求比较高,又由于是探测表面原子结构,所以“一般”需超高真空等环境。而电子显微镜根据探测的电子不同主要分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜,两者都需要高能电子轰击材料,所以对材料的损伤较大(而隧道显微镜由于使用隧穿电流对材料的损伤较少)。两种显微镜互补,可以深入了解材料表面和晶体内部的原子排布和电子结构,是现如今最先进的显微镜技术。r