以石英砂(SIO2)和C为原料在矿热炉(其中一个装置就是电炉)中炼制粗硅:SiO2+2C=Si(粗硅)+2CO↑ 炉料的配置一般为石英砂100公斤,碳质还原剂(可以为石油焦、木炭)30~50公斤。
矿热炉中的温度能达到1800℃。 这是粗硅的精炼:Si+3HCl=SiHCl3+H2 SiHCl3+H2=Si(纯硅)+3HCl